用于超声检测的绝缘硅 - 硅 - 硅谐振器

　　超声检测器使用高频声波来图像对象和测量距离，但是这些读数的分辨率受检测元素的物理尺寸的限制。点状宽带超声检测可以大大增加超声检查和光声（光声）成像的分辨率1,2，但是当前的超声检测器（例如用于医学成像的检测器）无法充分微型化。压电传感器随着尺寸的降低而二次降低灵敏度3，而光学微孔谐振器4和Fabry -pérotEtalons5不能充分地将光限制在小于大约50微米的尺寸中。微加工方法已用于生成电容式6和Piezoelectric7传感器的阵列，但是只有少数Megahertz的带宽，并且尺寸超过70微米。在这里，我们使用广泛可用的硅在绝缘子技术中开发微型超声检测器，感应面积仅为220纳米，乘以500纳米。基于硅的基于硅的光学谐振器设计的每个区域敏感性比微孔谐振器高1000倍，比压电探测器高100,000倍。我们的设计还可以实现超速检测带宽，以-6分贝达到230兆赫。除了使探测器适合在非常密集的阵列中制造外，我们还表明，亚微米传感区域可实现超分辨率检测和成像性能。我们证明了特征的成像比检测到的超声波的波长小50倍。我们的检测器可以对超声读数进行超微小化，从而可以以与光学显微镜相当的分辨率进行超声成像，并有可能在硅芯片上开发非常密集的超声阵列。

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